半導體射頻電源行業專題報告：激蕩頻波，馭勢而行！.pdf
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- 時間：2024/03/05
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半導體射頻電源行業專題報告：激蕩頻波，馭勢而行！射頻電源：高技術壁壘核心零部件 ? 射頻電源是可以產生300KHz-300MHz頻率的高頻交流電源，雖然射頻的頻段很寬，但半導體設備用的射頻電源工作頻率一般 處于 2MHz 至 60MHz 之間。核心技術難點在于參數穩定性、控制精度與阻抗匹配。隨著技術的不斷發展，市場將逐漸向高 頻、高功率、小型化和能效方向發展。 射頻電源應用：
1）半導體：刻蝕、薄膜沉積、干法清洗、離子注入等。2）光伏：PECVD、RPD等。3）面板：TFT陣列、CELL成盒制作等。 半導體射頻電源市場：國外頭部企業壟斷、市場集中度較高 ? 2022年全球半導體射頻電源市場銷售額達到了7.26億美元，預計2029年將達到14.57億美元，年復合增長率（CAGR）為 11.18%（2023-2029）。中國市場（含中國臺灣地區）2022年市場規模為96.6百萬美元，約占全球的13.31%。
2022年，全球第一梯隊廠商主要有萬機儀器、美國優儀（AE）、日本大阪變壓器株式會社，占有大約52.95%的市場份額。 海外半導體射頻電源公司如何發展：
MKS：向半導體行業提供環形等離子體源的領導者，面向FinFET開發自適應脈沖技術，以一致的脈沖提供射頻功率。
AE：擁有更穩定的eVerest系列射頻等離子體發生器、更快更準的Navigator II系列射頻匹配網絡，專有算法PowerInsight應對 匹配網絡生命周期的不確定性。深耕全射頻傳輸系統，為多種工藝提供不同產品匹配方案。
DAIHEN：1986年開始生產半導體制造設備用的射頻發生器，使用內部等離子體評估室進行技術開發（如脈沖輸出和頻率調 諧）、產品性能評估以及功能改進。
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