石英坩堝和石墨坩堝升級換代 助力我國單晶硅行業提質增效.docx

石英坩堝和石墨坩堝升級換代 助力我國單晶硅行業提質增效。 目前，國內拉制半導體單晶硅和拉制光伏單晶硅常用的是石英 坩堝配合石墨坩堝同時進行的，制造單晶硅所用的石英坩堝規格通 常是18英寸-36英寸的，也有個別廠家使用40英寸及以上的太陽 能級石英坩堝或半導體級石英坩堝。 

當前國內石英坩堝生產大廠的坩堝生產技術都比較成熟，大多 采用電弧熔制法配合旋轉塑模法制作拉制單晶硅棒的石英坩堝，該 方法是利用旋轉帶來的離心力使高純石英砂在潔凈環境中堆積于具 有坩堝形狀模具的內表面，再通過電弧放電加熱使堆積于內表面的石英粉熔融、玻璃化，并最終成形為呈現半透明狀拉制單晶硅石英 坩堝。生產拉制單晶硅石英坩堝具有內外兩層結構，由于石英坩堝 內層影響最終的單晶硅片質量，所以一般采用進口美國高純石英砂 或挪威高純石英砂，石英坩堝外層主要用來散熱，所以使用國產石 英砂通常就能滿足需求。