微導納米（688147）研究報告：國內光伏ALD設備龍頭，TOPCon和半導體領域有望逐步放量.pdf

微導納米以 ALD 技術為核心，聚焦光伏及半導體領域。公司成立于 2015 年， 成立之初專注光伏電池片領域的 ALD 設備，逐步形成 TALD、PECVD、PEALD 三大產品線，并在 2019 年至今逐步在半導體領域取得訂單并確認收入。在光 伏領域，公司在 PERC 領域穩定量產，覆蓋通威、隆基、晶澳、阿特斯、天 合光能等頭部光伏電池片廠商，同時正在加速 TOPCon 電池設備量產導入； 在半導體領域，公司 ALD 設備實現 28nm High-k 工藝的突破，已于多家國內 廠商開展驗證工作。

公司主營業務增長迅速，訂單結構加速向TOPCon電池片和半導體領域切換。 公司收入從2018年的0.42億元增長至2021年的4.28億元，CAGR為117%， 主要系公司用于 PERC 電池片的設備不斷放量；2021 年和 2022 上半年，公 司 ALD 銷量下滑，主要系光伏電池片行業在 2020-2021 年處于從 PERC 向 新型高效電池技術如 TOPCon、HJT 等技術轉變的過渡期，下游采購節奏短 期有所調整。公司目前訂單結構加速向 TOPCon 電池片和半導體領域切換， 截至 2022 年 11 月，ALD 設備新簽訂單數量已超過 2021 年全年所有鍍膜設 備訂單總和，同比大幅增長；截至 22Q3，公司在手訂單合計 19.75 億元，其 中專用設備和設備改造業務在手訂單分別為 18.56 和 1.15 億元，專用設備中 ALD 設備占比 85.7%。公司預計 2022 全年收入為 5.91-6.78 億元，同比增長 38.1%-58.4%；考慮到公司驗收周期 6-14 個月，當前在手訂單近 20 個億， 未來收入有望健康增長。

光伏電池片從 PERC 向 TOPCon、HJT 等轉變，ALD 設備在新型高效電池 片技術中具備獨特優勢。光伏電池片以 P 型或者 N 型電池片為原材料，P 型 包括傳統鋁背場和成熟的 PERC 技術，N 型包括 TOPCon、HJT、IBC 和鈣 鈦礦技術；PERC 電池主要由鈍化層、鋁層、P 型硅組成，TOPCon 包含 N 型硅、鈍化層、隧穿層等，HJT 在晶體硅上沉積非晶硅薄膜，綜合晶體硅電 池和薄膜電池的優勢。在 PERC 電池片中，電池正面和背面分別需要 SiNx 和 Al2O3 薄膜，PECVD 和 ALD 技術存在相互替代的關系；TOPCon 電池加 入了隧穿層及 SiO2 層，PEALD 技術可以獲得超薄、大面積均勻性、致密性 好的薄膜，相較傳統 PECVD 和熱氧化法具備獨特優勢。由于 TOPCon 電池 片轉換效率優于 PERC，并且可以在 PERC 產線基礎上直接進行改造，因此 當前光伏電池片廠商正加速從 PERC 向 TOPCon 的技術轉變，另外在未來 HJT 等成本降低之后，HJT 等技術也將普及，考慮到 ALD 技術在新型高效電 池片的技術優勢，未來行業光伏 ALD 設備需求量有望逐步增長。