中科飛測（688361）新股分析：國內檢測和量測設備巨頭，新品拓展打開長期成長空間.pdf

中科飛測（688361）新股分析：國內檢測和量測設備巨頭，新品拓展打開長期成長空間。中科飛測聚焦半導體檢測和量測設備，2022 年全球市場大約 125 億美元，國內 市場大約 30-40 億美元，但國產化率不足 5%，國產化空間巨大。公司 2020 年 至今營收保持高增長，當前在手訂單較為充沛，同時公司積極研發納米級晶圓 缺陷檢測等設備，未來產品矩陣覆蓋的市場空間有望大幅提升。公司成長動力 充足，建議重點關注上市后表現。

中科飛測聚焦半導體檢測和量測設備，客戶遍布中芯國際、長江存儲等頭部 產線。公司成立于 2014 年，為國內半導體檢/量測設備領先企業，下游客戶 遍布中芯國際、士蘭集科、長江存儲、芯恩集成等。公司團隊成員行業背景 深厚，公司成立至今多次承擔省級/國家級重點課題。公司產品包括無圖形和 圖形晶圓缺陷檢測設備、三維形貌量測設備、薄膜膜厚量測設備、套刻誤差 檢測設備、3D 曲面玻璃量測設備等，并正在開發納米級圖形晶圓檢測設備、 金屬膜厚量測設備等新品。

公司近年來營收和合同負債快速增長，持續加大研發力度。2019 年至今，伴 隨國內需求提升和設備逐步通過驗收，公司產品實現快速放量，整體銷量從 2019 年的 32 臺提升至 2022 年的 138 臺，銷售收入從 2019 年的 0.56 億元 快速提升至 2022 年的 5.1 億元，2022 年同比增長 41%，23Q1 收入 1.62 億 元，同比+254%。截至 2022 年底，公司合同負債為 4.85 億元，同比大幅增 長 212%，23Q1 末公司合同負債繼續增長至 5.45 億元?？紤]到公司設備生 產周期一般不超過 8 個月，驗收周期 2-7 個月，因此伴隨公司產品持續放量 和設備不斷升級，公司未來收入有望保持較高增長態勢；公司毛利率伴隨設 備升級和規模效應提升，逐步從 2018 年的 24%上升至 2022 年的 49%，23Q1 為 55%，但由于公司研發投入力度較大，為滿足納米級晶圓缺陷檢測設備等 新品研發項目，2022 年研發投入 2.06 億元，同比翻倍以上增長，導致 2022 年扣非歸母凈利潤出現虧損，23Q1 公司扣非凈利潤繼續虧損 76 萬元。

2022 年全球市場規模約 125 億美元，國產化空間巨大。檢測和量測是保證芯 片良率的重要工藝，應用光學技術的設備市場占比高達 75%，細分技術種類 繁多，包括明場、暗場等光學檢測，以及薄膜膜厚、套刻誤差、關鍵尺寸光 學量測等。根據 VLSI Research 和 Gartner 數據，2022 年全年半導體檢測和 量測設備市場空間預計 125 億美元，國內 2022 年市場空間約 30-40 億美元 市場份額主要被 KLA、日立等海外廠商壟斷，KLA 份額超 50%。國內廠商在 產品種類、工藝覆蓋度、制程等方面仍存在較大差距，2018-2022 年，中科 飛測、上海精測、上海睿勵三家主要半導體檢/量測設備廠商國內市占率由 0.69%提升至大約 3-4%，國產化空間巨大。

公司積極開發納米級晶圓缺陷檢測等設備，未來產品矩陣覆蓋的市場空間有 望大幅提高。公司產品線涵蓋了無圖形晶圓檢測設備、圖形晶圓缺陷檢測設 備、三維形貌量測設備、薄膜膜厚量測設備和套刻精度量測設備等產品，對 應市場份額占比為 27.2%。公司正積極研發納米圖形晶圓缺陷檢測設備、晶 圓金屬膜厚量測設備等，根據 VLSI Research 的統計，上述 2 種設備在全球 半導體檢測和量測設備市場中占據 25.2%份額，若未來項目能夠成功落地并 通過產業化驗證，有望大幅開拓公司面向的市場容量。制程方面，公司已有多臺設備在 28nm 產線通過驗收，另有對應 1Xnm 產線的 SPRUCE-900 型號 設備正在研發，對應 2Xnm 以下產線的 DRAGON BLOOD-600 型號設備正在 驗證，已經取得兩家客戶的訂單。