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半導體前道量檢測設備行業報告：先進制程關鍵設備，電子束檢測正崛起。電子束檢測是先進制程關鍵設備。隨著集成電路工藝節點減小，缺陷尺寸減小、缺陷密度增加、漏檢風險逐漸提升，受益加速電壓下的波長優勢，電子束檢測 技術精度較高，且對于電性缺陷具有獨特的識別能力。先進制程及其配套產業鏈或將成為大基金三期的重點發力方向，半導 體前道量檢測設備目前國產化率僅個位數，電子束檢測設備是先進制程芯片良率的關鍵保障，未來有望加速發展。

國內電子束檢測設備市場有望快速發展

我們測算，2024/2025年全球半導體量檢測設備市場空間分別為159/196億美元，中國大陸半導體量檢測設備市場空間分別為 55/68億美元，全球電子束量檢測設備市場空間分別約為25/34億美元，其中，電子束關鍵尺寸量測市場空間分別為11/15億美 元，電子束缺陷檢測市場空間分別為6/8億美元，電子束缺陷復查設備市場空間分別為8/10億美元。

電子束檢測設備國產替代空間廣闊

根據VLSI數據統計，2023年全球半導體量檢測設備行業CR5超過84%，主要供應商包括KLA、應用材料、日立等，其中柯磊 半導體市占率高達55.8%。電子束檢測設備方面，根據應用材料數據統計，2021年應用材料、日立、阿斯麥、KLA等企業的 全球市占率分別為50%、28%、15%、6%，電子束檢測設備國產供應商較為稀缺。