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中科飛測研究報告：半導體量檢測設備領軍者，國產替代進入加速階段。引領量/檢測設備進口替代，收入規模持續快速增長。公司是本土量/檢測設備龍頭，成功供貨中芯國際、長江存儲、福建晉華等主流半導體客戶，引領進口替 代同時，收入規模實現快速增長。1）收入端：2018年營收僅為2985萬元，2023年達8.91億元，期間CAGR高達97%，實現高速增長。2）利潤端：與收入端高 速增長形成對比的是，公司利潤端波動較大。2022年實現歸母凈利潤0.12億元，同比-78%；2023年歸母凈利潤達1.40億元，同比+1095%。扣非銷售凈利率可 以表征半導體設備企業真實盈利情況，2018-2023年公司扣非銷售凈利率分別為-194.45%，-129.30%，-0.56%，0.97%，-17.25%和3.56%，2023年明顯提升。 我們注意到公司整體毛利率呈上升趨勢，2021-2023年分別達到48.96%、48.67%和52.62%，優于半導體設備行業平均水平，表現較為出色。截至2024Q1末， 公司存貨和合同負債分別達12.87億元和4.78億元，分別同比+40%和-12%，充足訂單有望支持公司業績持續快速增長。

前道設備彈性最大環節之一，國產替代進入加速階段。量/檢測設備產品技術壁壘高、種類多，在半導體設備中價值量占比僅次于薄膜沉積、光刻和刻蝕，達 到11%。我們預計2024年中國大陸量/檢測設備市場規模將達到292億元，市場需求廣闊。①全球范圍內來看，KLA在半導體量/檢測設備領域一家獨大，2020 年市場份額高達51%。此外，在半導體前道設備中，量/檢測設備盈利水平尤為出色，2023財年KLA凈利率高達32%，明顯優于AMAT、LAM等半導體設備龍 頭。②中科飛測、上海精測、睿勵科學等本土廠商雖已經實現一定突破，但量/檢測設備仍是前道國產化率最低的環節之一，上述三家企業2022年營收合計 7.46億元，對應市場份額不足5%，遠低于去膠機、刻蝕設備、薄膜沉積設備等環節。展望未來，在美國制裁升級背景下， KLA在中國大陸業務可能受到一定 沖擊，看好本土晶圓廠加速國產設備導入，量/檢測設備有望迎來國產替代最佳窗口期。

國產替代加速&產品線持續完善，公司具備持續快速擴張潛力。公司在穩固現有產品競爭優勢同時，積極布局先進制程設備，并不斷拓展量/檢測產品品類， 成長空間持續打開。1）公司六大類成熟產品（無圖形晶圓缺陷檢測、晶圓圖形缺陷檢測、三維形貌量測、介質&金屬薄膜膜厚量測、套刻精度量測）正式實 現批量產業化，市場競爭力持續穩固，市占率有較大提升空間。2）公司在穩固現有產品市場競爭力的同時，積極布局納米圖形晶圓缺陷檢測設備、暗場納米 圖形晶圓檢測設備、關鍵尺寸量測設備等新產品線，目前進展順利，持續完善量/檢測設備產業布局，有望逐步進入放量階段。3）在加大量/檢測設備擴張力 度的同時，公司將人工智能和大數據技術應用到半導體質量控制數據上，形成一系列提升高端半導體制造良率的軟件產品，進一步完善量/檢測產品體系。