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中科飛測公司研究報告：量檢測領軍企業，明暗場產品有望迎來突破。深圳中科飛測科技股份有限公司主要從事半導體質量控制設備的研發、生產和銷售，是國產 高端半導體質量控制設備領軍企業。中科飛測深耕高端半導體質控領域，提供全流程良率管 理解決方案。公司核心服務涵蓋設備、智能軟件及相關服務。公司近年來營業收入持續穩健 增長，經營規模持續擴大，2021-2024 年復合增長率為 56.44%。2024 年公司營業收入 13.80 億元，同比增長 54.94%；2025Q1-Q3 公司營業收入 12.02 億元，同比增長 47.92%。2024 年公 司歸母凈利潤為-0.12 億元，同比減少 108.21%；2025Q1-Q3 公司歸母凈利潤為-0.15 億元，同 比增加 71.67%。

半導體量檢測設備行業是保障芯片制造良率的關鍵環節，2024 年全球市場規模達 143.5 億 美元，占全球半導體制造設備約 13%，僅次于刻蝕、薄膜沉積和光刻設備，國產化率仍處低 位，國產替代空間廣闊。半導體質量控制設備按檢測類型分類，檢測量測設備是保障良品率 關鍵。半導體質量控制對芯片良品率至關重要，檢測和量測設備 2024 年全球市場規模達 143.5 億美元，占全球半導體制造設備約 13%，僅次于刻蝕、薄膜沉積和光刻設備。中國半導體檢 測量測設備雖國產化率低，但市場增長快，國產化有望加速。中國大陸半導體檢測量測設備 市場高速增長，受益于行業發展和政策扶持。據 SEMI 預測，2024 年中國大陸晶圓產能同比 增 15%至 885 萬片/月，2025 年再增 14%至 1010 萬片/月，增速全球第一。中國大陸半導體 檢測量測設備市場高速增長，受益于行業發展和政策扶持。據 VLSI 數據，2020-2024 年中國 大陸半導體檢測與量測設備市場規模的年均復合增長率為 27.73%。

公司檢測與量測環節的量檢測設備產品品類齊全，核心設備在頭部客戶產線持續驗證并加快 導入。公司檢測設備實現品類全覆蓋，涵蓋無圖形、圖形、明場及暗場納米圖形晶圓缺陷檢 測系列。其中無圖形檢測設備累計交付超 300 臺，圖形檢測設備超 400 臺，通過國內頭部客 戶驗證，暗場納米圖形檢測設備填補了國內產品空白，打破了國外壟斷，并逐步實現國產替 代。中科飛測量測設備品類齊全，涵蓋三維形貌、套刻精度、薄膜膜厚等系列。截至 2025 年上半年，三維形貌量測設備累計交付超 200 臺，套刻精度量測設備實現批量銷售，兩類薄 膜膜厚量測設備覆蓋國內主流集成電路客戶產線。