拓荊科技（688072）研究報告：PECVD設(shè)備龍頭，國產(chǎn)替代迎來發(fā)展機(jī)遇.pdf
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拓荊科技（688072）研究報告：PECVD設(shè)備龍頭，國產(chǎn)替代迎來發(fā)展機(jī)遇。2020年P(guān)ECVD設(shè)備市場規(guī)模約57億美元，在薄膜沉積設(shè)備市場中占比最高， 約33%。從供給來看，市場主要被國際巨頭AMAT、LAM、TEL壟斷，國內(nèi)僅拓 荊科技生產(chǎn)。公司是國內(nèi)唯一實現(xiàn)PECVD設(shè)備的供應(yīng)商，深耕薄膜沉積設(shè)備 行業(yè)十余載，PECVD設(shè)備業(yè)務(wù)逐漸進(jìn)入收獲期，2020年營收為4.18億元，占 全球市場1%左右；2021年營收6.75億元，同比增長61.39%，隨著國內(nèi)晶圓 廠的擴(kuò)產(chǎn)加速，公司業(yè)績有望維持高增長。
ALD、SACVD設(shè)備：首臺套相繼出貨，終端驗證進(jìn)展有望提速
2020年全球ALD設(shè)備市場規(guī)模約19億美元，隨著半導(dǎo)體先進(jìn)制程產(chǎn)線數(shù)量增 加，預(yù)計2026年市場規(guī)模約為32億美元。從競爭格局來看，TEL、ASM合計 占比約60%，而國內(nèi)企業(yè)布局相對較慢，幾無營收貢獻(xiàn)。SACVD設(shè)備具有較 高的填溝能力，應(yīng)用于高深寬比薄膜沉積工藝中，目前國內(nèi)僅公司實現(xiàn)產(chǎn) 業(yè)化應(yīng)用。拓荊積極布局ALD、SACVD設(shè)備，并于2018年確認(rèn)首臺ALD設(shè)備收 入，2021年確認(rèn)首臺SACVD設(shè)備收入，隨著研發(fā)進(jìn)展順利，終端驗證有望提 速。
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