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珂瑪科技研究報告：先進陶瓷零部件核心國產供應商，陶瓷加熱器開啟加速放量。營收CAGR2019-2023>28%，先進陶瓷材料零部件+泛半導體設備表面處理驅動成長。公司成立于2009年，主要從事先進陶 瓷材料零部件的研發、制造、銷售、服務以及泛半導體設備表面處理服務，擁有由氧化鋁、氧化鋯、氮化鋁、碳化硅、氧化 釔和氧化鈦6大類材料組成的先進陶瓷基礎材料體系，是國內半導體設備用先進陶瓷材料零部件的頭部企業。公司主要產品 及服務包括先進陶瓷材料零部件、表面處理和金屬結構零部件。公司2019-2023年的營收CAGR超過28%，主要先進陶瓷材 料零部件與泛半導體設備表面處理業務驅動成長，2024年前三季度公司實現營收6.2億元，其中陶瓷部件5.5億元（其中最新 量產模組產品占36%），表面處理6600萬元。

公司重點研發陶瓷加熱器、靜電卡盤、超高純碳化硅套件，全球市場需求超百億元，國產替代空間廣闊。在半導體設備領域， 公司是國際頭部半導體設備廠商A公司的全球供應商，是世界著名的熱產品和技術解決方案供應商WATLOW的供應商。隨著 半導體設備國產化趨勢，公司已成為主流國產半導體設備廠商包括北方華創、中微公司、拓荊科技、上海微電子和芯源微等 的主要核心陶瓷零部件供應商。前期公司通過陶瓷結構零部件，進入半導體設備廠商；中期承接02專項，實現陶瓷加熱器技 術的突破；2024年開始陶瓷加熱器實現國產替代，陶瓷加熱器已有多款型號裝配于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火設 備等，裝配于刻蝕機的8寸型號靜電卡盤也已經量產。保守估計2023年全球陶瓷加熱器、靜電卡盤、超高純碳化硅套件市場 需求分別在42-57、36-42、15-19億元，合計超百億市場，其中日企占據主要份額，隨著國產設備廠商的不斷發展，零部件 國產替代空間廣闊。公司將進一步完善陶瓷加熱器、8寸靜電卡盤產品，并重點研發突破12寸靜電卡盤、超高純碳化硅套件。

26E中國泛半導體設備零部件表面處理服務市場規模75億元，公司聚焦顯示面板，逐步建成半導體表面處理產能。表面處理 方面，公司具備對氧化鋁、氮化鋁、氧化釔等各基材先進陶瓷材料和金屬材料等零部件的表面處理能力。公司在洗凈再生處 理潔凈度、熔射后使用壽命和大尺寸零部件熔射等方面處于國內領先水平，且表面處理綜合服務方案提供能力較強。根據弗 若斯特沙利文數據，2021年公司在中國大陸顯示面板表面處理市場份額約6%，其中在顯示面板刻蝕細分領域的市場份額約 為14%。公司表面處理業務主要是清洗和噴涂，目前公司主要的下游是面板廠商，未來需求相對穩定，同時公司也在逐步建 成半導體表面處理產能。