射頻電源行業(yè)專題分析：刻蝕&PECVD設(shè)備核心零部件，國(guó)產(chǎn)替代迫在眉睫.pdf

射頻電源行業(yè)專題分析：刻蝕&PECVD設(shè)備核心零部件，國(guó)產(chǎn)替代迫在眉睫。射頻電源為刻蝕等工藝設(shè)備核心零部件之一，技術(shù)壁壘較高。射頻電源作為 用來(lái)產(chǎn)生等離子體的高頻交變電源，廣泛應(yīng)用于刻蝕、PECVD、等離子體清 洗/去膠、射頻濺射、PEALD 等半導(dǎo)體制造設(shè)備。射頻電源極大程度上決定了 產(chǎn)生離子的濃度、均勻度、穩(wěn)定性，是刻蝕等工藝設(shè)備的核心零部件之一，需 要滿足高功率、高效率、精準(zhǔn)的頻率控制精度、較短的匹配時(shí)間等要求，技術(shù) 壁壘較高，且隨著制程演進(jìn)對(duì)射頻電源的要求也仍在不斷提高。

射頻電源在半導(dǎo)體設(shè)備中成本占比顯著，美系廠商壟斷。射頻電源是刻蝕設(shè) 備、PECVD 設(shè)備等工藝設(shè)備的核心零部件之一，在采購(gòu)成本中占比顯著，2022 年全球市場(chǎng)規(guī)模估測(cè)約在 20-30 億美元。射頻電源行業(yè)主要由積累深厚的海 外龍頭主導(dǎo)，尤其是美國(guó)的 MKS 和 AE 兩家廠商壟斷市場(chǎng)，國(guó)產(chǎn)廠商此前技 術(shù)能力和下游土壤都較為欠缺，因此市占率極低。

國(guó)產(chǎn)設(shè)備長(zhǎng)期空間巨大，零部件市場(chǎng)有望隨之快速成長(zhǎng)。國(guó)內(nèi)晶圓廠持續(xù)擴(kuò) 產(chǎn)，中芯國(guó)際成熟制程產(chǎn)能規(guī)劃巨大，且擴(kuò)產(chǎn)的意志和決心堅(jiān)定，預(yù)計(jì)未來(lái)兩 三年擴(kuò)產(chǎn)幅度和資本開(kāi)支都較為積極；存儲(chǔ)廠雖然部分廠商由于美國(guó)限制而 影響短期擴(kuò)產(chǎn)，但中長(zhǎng)期產(chǎn)能提升的空間和意志不改。在當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)各 地區(qū)脫鉤趨勢(shì)下，國(guó)內(nèi)晶圓廠存儲(chǔ)廠擴(kuò)產(chǎn)空間巨大，且自主可控重要性愈發(fā) 凸顯，設(shè)備國(guó)產(chǎn)化比例有望快速提升，因此本土設(shè)備廠商面臨的長(zhǎng)期國(guó)產(chǎn)化 空間顯著，而上游零部件市場(chǎng)也將隨之快速成長(zhǎng)。

射頻電源國(guó)產(chǎn)替代迫在眉睫，優(yōu)質(zhì)廠商有望迎來(lái)突破放量。當(dāng)前中美貿(mào)易摩 擦加劇趨勢(shì)下，半導(dǎo)體設(shè)備上游的零部件環(huán)節(jié)的供應(yīng)穩(wěn)定性也在逐漸面臨越 來(lái)越大的風(fēng)險(xiǎn)，因此設(shè)備廠商對(duì)于零部件自主可控的緊迫性也愈發(fā)凸顯，尤 其是射頻電源這種國(guó)內(nèi)廠商此前突破較少、卡脖子情況嚴(yán)重的環(huán)節(jié)，隨時(shí)面 臨美系廠商斷供風(fēng)險(xiǎn)，因此設(shè)備廠商對(duì)于國(guó)產(chǎn)供應(yīng)商的導(dǎo)入尤為急切。國(guó)內(nèi) 以英杰電氣為代表的部分優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商經(jīng)過(guò)多年積累，以及在近兩年下游客戶 快速增強(qiáng)的意愿和積極的配合之下，逐漸取得了良好的進(jìn)展，部分產(chǎn)品在客 戶端驗(yàn)證已取得很好的結(jié)果，有望迎來(lái)訂單和銷售的突破和放量。